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VT6000系列3d成像激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現出很高的靈敏度，并且還可以通過縮小激發范圍并使用光學切片來消除背景噪聲。能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

VT6000材料生產用共聚焦顯微鏡在材料生產領域中，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內準確量測物體的三維數據。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列共聚焦激光掃描顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，儀器測量精度高；儀器的隔震設計能夠消減底面振動噪聲，在大部分的環境中穩定可靠，具有良好的測量重復性。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器3d白光光學干涉儀SuperViewW1雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

VT6000系列共聚焦掃描顯微鏡以共聚焦技術為原理，對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。