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SuperViewW1輪廓度光學測量儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學輪廓測量儀的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定

SJ5800中圖接觸式輪廓儀可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進行多種粗糙度參數、微觀輪廓度參數的測量。同時儀器還可對各種精密零件輪廓度、波紋度進行測量，對形狀參數進行分析。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器輪廓掃描測量儀X軸、Z軸采用獨立運動系統，使用先進的兩軸聯動運動控制算法，可實現X、Z雙軸聯動掃描，測量時測針在工件表面做仿形運動掃描（主動掃描），既保持了恒測力，又保證了大的陡坡通過能力，工件調平操作簡單，同時避免了崩針、掛針等問題。該產品還支持量程定制，適用于各行業領域的實驗室或工作現場使用。

SuperViewW1三維光學輪廓形貌儀是一款既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的光學檢測儀器?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SuperViewW1光學輪廓測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發感應器，鏡頭與樣品表面變為軟接觸，并觸發緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。