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中圖儀器SuperViewW1精密光學(xué)輪廓測量儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW13D光學(xué)白光干涉儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測，具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點。它特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SJ5730齒輪輪廓測量儀高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：滿足被測件測量精度要求。超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)，具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm或更高。一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，顯示Ra和Pt等參數(shù)。

SuperViewW1粗糙度光學(xué)輪廓儀的載物臺尺寸為320*200mm（可定制），行程為140*110mm（可定制）；測量的Z向范圍可達(dá)10mm（2.5X鏡頭），Z向的精度可高達(dá)0.1nm。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SJ5718表面缺陷測量輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，該儀器可測量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來評定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。該儀器還可對各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測試評定；可對平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測試。

SuperViewW1光學(xué)三維3D表面輪廓測量儀在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。