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中圖儀器SuperViewW系列3D光學檢測儀器具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。

中圖儀器SJ5800系列精密測量粗糙度輪廓儀一體機品牌具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，輪廓和粗糙度一體測量，無需切換模塊。

中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學測量系統、超高直線度研磨級摩擦導軌、高性能直流伺服驅動系統、高性能計算機控制系統技術，分辨率高達0.1nm，系統殘差小于3nm。

SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1光學粗糙度輪廓儀一體機基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

中圖儀器SJ5800國產粗糙度輪廓儀可以實現對產品表面形貌特征、微小結構參數獲取以及質檢功能，并且能夠快速有效地檢查出產品表面存在的小坑洞、凹槽等缺陷；同樣適用于機械加工過程中的運轉部件等零件制造，因為它不但可以方便地監控各種尺寸變化還可記錄每個階段的裂紋或損傷情況。